Dodavatel terčů pro rozprašování wolframu
Běžné typy kovových terčů jsou následující:
Klasické kovové terče: hořčík Mg, mangan Mn, železo Fe, kobalt Co, nikl Ni, měď Cu, zinek Zn, olovo Pd, cín Sn, hliník Al
Malé kovové terče: Indium, Germanium Ge, Gallium Ga, Antimon Sb, Bismut Bi, Kadmium Cd
Materiály žáruvzdorných kovových terčů Titan Ti, Zirkonium Zr, Hafnium Hf, Vanadium V, Niob Nb, Tantal Ta, Chrom Cr, Molybden Mo, Tungsten W, Rhenium Re
Výroba terče pro rozprašování wolframu
Terče z drahých kovů: zlato Au, stříbro Ag, palladium Pd, platina Pt, iridium Ir, ruthenium Ru, rhodium Rh, osmium Os
Polokovové terče: uhlík C, bor B, telur Te, selen Se
Kovové terče vzácných zemin gadolinium Gd, samarium Sm, dysprosium Dy, cer Ce, yttrium Y, lanthan La, ytterbium Yb, erbium Er, terbium Tb, holmium Ho, thulium Tm, neodym Nd, praseodym Pr, lutetium Eu scandium, europium Sc
Keramický terč oxid hlinitý AZO, oxid india a cínu ITO, oxid zinečnatý ZnO, nitrid hliníku AlN, nitrid titanu TiN, nitrid boru BN, titaničitan barnatý BaTiO3, titaničitan vizmutitý BiTiO3, karbid křemíku SiC, stroncium tusteng titaničitan SrTiC, karbid titanu stroncia WC, lithium niobát LiNbO3
Faktpry cíle Tungsten Sputtering Target
Mezi slitinové terče patří slitina zlata a cínu AuSn, slitina zlata, germania a niklu AuGeNi, slitina zinku a hliníku ZnAl, slitina hliníku a mědi AlCu, slitina kobalt-železo-bor CoFeB, slitina železa a manganu FeMn, slitina iridium-mangan IrMn, zirkonium -slitina titanu ZrTi, slitina nikl-chrom NiCr, slitina mědi a india gallium CuInGa, měď zinek cín slitina síry CZTS
