Čistota: Čistota cíle molybdenu je klíčovým ukazatelem jeho výkonu. Obecně lze říci, že čistota cíle vysoce čistého molybdenu může dosáhnout 99,95% nebo dokonce vyšší.
Hustota: Hustota blízká teoretické hustoty molybdenu (10,22 g\/cm³) je známkou vysoce kvalitního cíle molybdenu. Vyšší hustota ukazuje, že v materiálu je méně dutin a struktura je těsná, což je zásadní pro zlepšení životnosti a stability cílového materiálu.
Tepelná vodivost: Tepelná vodivost molybdenu je asi 138 W\/m · K. Vysoká tepelná vodivost je velmi důležitá pro kontrolu teploty cíle během vysokorychlostního povlaku, což pomáhá zabránit přehřátí a strukturálnímu poškození cíle.
Koeficient tepelné roztažnosti: Molybden má koeficient nízké tepelné roztažnosti asi 4,8 × 10^-6 \/ stupeň. Tato funkce znamená, že cíl molybdenu má dobrou rozměrovou stabilitu při změnách teploty, což pomáhá udržovat konzistenci a přesnost procesu depozice tenkého filmu.
Tvrdost a síla: Molybdenum má vickersovu tvrdost asi 2500 HV a má vysokou mechanickou pevnost. To umožňuje cíl molybdenu odolat mechanickému nárazu během vysokorychlostního povlaku.
Povrchová rovina a drsnost: Povrchová rovina a drsnost jsou také důležitými parametry pro hodnocení kvality cílů molybdenu. Dobré povrchové úpravy může snížit generování částic během použití cíle a zlepšit uniformitu a kvalitu uloženého filmu.
Ukázkový obrázek o molybdenu cíl
