80% wolframové naprašovací terče
Tvar terče: deska, kotouč, obdélník, čtverec, prsten, kulatá tyč, stupňovitý kotouč, stupňovitý obdélník, trojúhelník, trubkový terč, vnořený terč atd. nebo přizpůsobené podle požadavků zákazníka a lze je zpracovat podle výkresů poskytnutých společností zákazník. U některých cílových materiálů můžeme zákazníkům poskytnout i vazačské služby.
Referenční velikost: průměr menší nebo rovný 355,6 mm (14 palců), délka menší nebo rovna 1000 mm, šířka menší nebo rovna 200 mm, tloušťka menší nebo rovna 20 mm
80% W naprašovací terče
Jaké jsou procesy pro naprašování terčů?
Proces naprašovací elektrody se používá hlavně ve dvou aspektech: naprašovací leptání a nanášení tenkého filmu.
Při nanášení tenkých filmů se zdroj rozprašování umístí na terč a je bombardován argonovými ionty za vzniku rozprašování. Pokud je materiál terče jediná látka, vytvoří se na substrátu tenký film materiálu terče; pokud je reaktivní plyn záměrně zaveden do naprašovací komory, chemicky reaguje s atomy naprašované elektrody a ukládá se na substrát. Může být vytvořen složený film cílového materiálu. Obecně se složené nebo slitinové filmy vyrábějí přímým naprašováním se složeným nebo slitinovým terčem.
80% wolframový titanový naprašovací terč
Během naprašovacího leptání je leptaný materiál umístěn na cílové místo a je bombardován argonovými ionty pro leptání. Rychlost leptání souvisí s faktory, jako je výtěžnost materiálu terče naprašováním, hustota iontového proudu a stupeň vakua v naprašovací komoře. Během naprašovacího leptání by měly být atomy rozprašovací elektrody co nejvíce odstraněny z rozprašovací komory. Běžným způsobem je zavedení reaktivního plynu, reakce s atomy rozprašované elektrody za vzniku těkavého plynu a jeho následné vypuštění z rozprašovací komory přes vakuový systém.
