Jan 24, 2024 Zanechat vzkaz

Technologie přípravy a aplikace vysoce čistých wolframových terčů

99,95 % W naprašovací terče
 

 

1. Vliv teploty slinování

Proces formování wolframového cílového embrya se obecně vyrábí izostatickým lisováním za studena. Wolframová zrna budou během procesu slinování růst. Růst wolframových zrn vyplní mezery mezi hranicemi zrn, čímž se zlepší kvalita wolframového terče. Hustota. Se zvyšujícím se počtem dob slinování se růst hustoty materiálu wolframové terče postupně zpomaluje. Hlavním důvodem je, že po vícenásobném slinování se kvalita wolframového terče příliš nezměnila. Protože většina mezer v hranicích zrn je vyplněna krystaly wolframu, po každém slinování se celková rychlost změny velikosti wolframového terče změnila. Je velmi malý, což má za následek omezený prostor pro zvýšení hustoty wolframového terče. Jak slinování pokračuje, vyrostlá zrna wolframu vyplňují mezery, což má za následek hustší cíl s menší velikostí částic.

 

9995 Tungsten Titanium Sputtering Target

99,95% wolframový titanový rozprašovací terč
 

 

2. Vliv doby držení

Při stejné teplotě slinování, jak se prodlužuje doba zdržení slinování, se odpovídajícím způsobem zlepšuje hustota wolframového terče. Jak se prodlužuje doba držení, zvětšuje se velikost zrna wolframu a jak se prodlužuje doba výdrže, zvětšuje se velikost zrna wolframového terče. Nárůst velikosti zrna se postupně zpomaluje, což ukazuje, že prodloužení doby výdrže může také zlepšit výkon wolframových terčů.

 

9995 W Sputtering Targets

99,95 % WTi
 

3. Vliv rolování na cílový výkon

Aby se zvýšila hustota materiálu wolframového terče a současně se získala struktura zpracování wolframového terče, musí být válcování wolframového terče při střední teplotě prováděno pod teplotou rekrystalizace. Pokud je teplota válcování cílového polotovaru vysoká, vláknitá struktura cílového polotovaru bude hrubá a naopak vláknitá struktura cílového materiálu bude jemná. Když rychlost zpracování válcováním za tepla dosáhne nad 95 %. Přestože jsou původní zrna slinování odlišná nebo budou eliminovány rozdíly ve struktuře vláken způsobené různými teplotami válcování, vnitřní struktura terče vytvoří jednotnější strukturu vlákna. Proto čím vyšší je rychlost zpracování válcování za tepla, tím lepší je výkon cíle. dobrý.

Odeslat dotaz

Domů

Telefon

E-mail

Dotaz